low flow oxygen system ก๊าซที่ผู้ป่วยได้รับ จะมีอากาศจากบรรยากาศเข้าไปผสมกับอ็อกซิเจนที่ให้ เนื่องจาก gas flow ที่ได้รับ ไม่เพียงพอกับ inspiratory flow rate ที่ผู้ป่วยต้องการ ผู้ป่วยจะได้รับความเข้มข้นของอ็อกซิเจนไม่แน่นอน ขึ้นกับอัตราการไหลของก๊าซอ็อกซิเจนที่ได้รับ และ tidal volume หรือปริมาตรก๊าซที่หายใจเข้าแต่ละครั้ง
ตัวอย่าง
face mask
with reservoir bag
simple face mask
 
nasal cannula
oxygen hood